В России разработают лазеры для производства чипов для установок Nikon и ASML
Минпромторг заказал разработку лазеров и фотоприемников, применяемых в производстве интегральных схем по топологии до 65 нм. Такое оборудование отвечает за точное нанесение рисунка на поверхности материала. Его аналог производится в США и используется в установках Nicon и ASML.