High-NA EUV-фотолитограф — пожалуй, наиболее сложный из созданных человечеством за всю историю станков для массового промпроизводства, — выпускается серийно и доступен для заказа (по крайней мере, если Минторгу США по душе покупатель). Но надолго ли сохранится монополия ASML на такие машины? И чего удалось добиться отечественным разработчикам за последние годы?
