«Первый отечественный литограф мы собрали, сделали. Он сейчас проходит уже испытания в составе технологической линейки в Зеленограде», так анонсировал это знаковое для российской микроэлектроники событие чиновник министерства промышленности, по заказу которого Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) с 2022 года ведёт разработку. К концу 2024 года она должна завершиться созданием опытного образца фотолитографа для изготовления микросхем топологического уровня 350 нм. Запустить серийное производство этого оборудования в ЗНТЦ планируют к концу 2025 года.