EUV-литография использует свет с длиной волны 13,5 нанометров для создания микросхем с высоким разрешением. Процесс включает генерацию EUV-света, его отражение через специализированные зеркала и проекцию на фоточувствительный материал на подложке. Этот материал изменяется под воздействием света, что позволяет создавать точные микроизображения после проявления и травления. Благодаря этой технологии можно достигать очень мелких размеров элементов в полупроводниках.
Новая система ученых из Окинавского института науки и технологий (OIST) использует всего два зеркала в оптической проекционной установке, что сильно отличается от традиционной конфигурации с шестью зеркалами. Основная задача такой оптической системы — точно выровнять эти зеркала в одну линию, чтобы обеспечить высокую оптическую производительность без искажений, связанных с EUV-светом. Благодаря новому оптическому пути более 10% начальной EUV-энергии достигает подложки, в то время как в стандартных системах этот показатель составляет 1%. Это значительное достижение.
Команда решила две задачи в EUV-литографии: устранение оптических аберраций (искажений) и обеспечение эффективной передачи света. Метод «двойного поля» (dual-line field) освещает фотошаблон, не нарушая оптический путь. Это позволяет минимизировать искажения и повышает точность изображения на кремниевой подложке.
Минималистичный дизайн установки не только повышает надежность и упрощает обслуживание, но и снижает энергопотребление. Благодаря оптимизированному оптическому пути система работает с источником EUV-излучения мощностью всего 20 Вт, что позволяет сократить общее энергопотребление до менее 100 кВт. Для сравнения, традиционные EUV-сканеры требуют более 1 МВт мощности. За счет низкого энергопотребления инструмент не нуждается в сложной и дорогой системе охлаждения.
Оптическое моделирование подтвердило высокую производительность новой системы и ее способность к производству передовых полупроводников. OIST подал патент на технологию и намерен довести ее до практического применения.
Институт считает, что их EUV-сканер станет важным вкладом в решение глобальных проблем, связанных с высокой стоимостью производства микросхем и энергозатратностью полупроводниковой промышленности.
Экономические последствия этого изобретения многообещающие. Ожидается, что мировой рынок EUV-литографии вырастет с $8,9 млрд в 2024 году до $17,4 млрд к 2030 году. Благодаря упрощенной конструкции использование таких EUV-инструментов в ближайшие годы может расшириться. Однако неясно, насколько близко OIST находится к коммерциализации своего сканера.
«Грузовичкоф» принял участие в открытии Общественной приемной по вопросам логистики
Заместитель управляющего Отделением Фонда пенсионного и социального страхования Российской Федерации по г. Москве и Московской области Алексей Путин: «Клиентоцентричность - наш приоритет»
СВОИХ НЕ БРОСАЕМ!
Филиал № 4 ОСФР по Москве и Московской области напоминает:
Социальный фонд проинформирует самозанятых о формировании пенсионных прав
At last, democracy has come to Helldivers 2: A new Democracy Space Station lets players vote on which planet gets bombarded for truth and justice every 24 hours
A War Of A Madman's Making is a quietly brilliant, totally free political sim where you have to try to survive as a deranged dictator's henchman
Valve gets the original Half-Life 2 development team back together for a huge 20th anniversary update—and the game is now free for the weekend on Steam
Unreal Gold and Unreal Tournament are now free on the Internet Archive, and Epic says that's A-okay
Диетолог Соломатина: от бесконтрольного приема «Оземпика» ухудшается зрение
Агентство «IT monitoring» запускает пилотную версию онлайн-реестра IT-ассоциаций
Заместитель управляющего Отделением Фонда пенсионного и социального страхования Российской Федерации по г. Москве и Московской области Алексей Путин: «Клиентоцентричность - наш приоритет»
«Грузовичкоф» принял участие в открытии Общественной приемной по вопросам логистики
«Грузовичкоф» принял участие в открытии Общественной приемной по вопросам логистики
Сотрудники Пушкинского отдела вневедомственной охраны Главного управления Росгвардии по Московской области задержали 38-летнего местного жителя, который тайно похитил товар из супермаркета
Филиал № 4 ОСФР по Москве и Московской области напоминает:
Социальный фонд проинформирует самозанятых о формировании пенсионных прав
Заместитель управляющего Отделением Фонда пенсионного и социального страхования Российской Федерации по г. Москве и Московской области Алексей Путин: «Клиентоцентричность - наш приоритет»
Финал шоу «Вызов. Китайский сезон», откровения Лепса в Comedy Club, жёсткое наказание участников в «Звёздах в джунглях» и критика Бузовой в «Ярче звёзд»: что смотреть на ТНТ в выходные
«Ростех» выставит на продажу совхоз на Кубани
Всемирный день качества отметили в филиале «Московском» ООО «ЛокоТех-Сервис»
Волонтеры «Норникеля» получили в Москве очередную награду
«Грузовичкоф» делится лучшими практиками на конференции «Грузоперевозки 2024»
Отделение СФР по Москве и Московской области вручило 29 автомобилей пострадавшим на производстве
Сотрудники вневедомственной охраны Главного управления Росгвардии по г. Москве оказали помощь женщине, у которой во время прогулки случился приступ эпилепсии.
Какой минивэн купить до 1 млн рублей: рейтинг лучших вариантов
Заместитель управляющего Отделением Фонда пенсионного и социального страхования Российской Федерации по г. Москве и Московской области Алексей Путин: «Клиентоцентричность - наш приоритет»
Путин продлил полномочия ректоров МГУ и СПбГУ
Лукашенко сообщил, предлагал ли Путин жить в одном государстве
Путин пригласил президента Абхазии на празднование 80-летия Победы в Москве
