Российские ученые добавили литий в гелиевый плазменный заряд — получился новый источник излучения для EUV-литографии
Работники Национального исследовательского университета «МЭИ» создали новый источник излучения для EUV-литографии — с повышенным КПД относительно нынешних разработок. Для этого ученые добавили литий в гелиевый плазменный заряд. Новый источник позволит выпускать интегральные схемы по более тонкому техпроцессу и с большим быстродействием. Пока разработка находится на стадии прототипа, но в конечном итоге такой источник планируется применять в российских литографах.
Изображение сгенерировано Kandinsky
«В МЭИ разработали экспериментальный образец источника излучения в экстремальном ультрафиолете. Эксперименты с добавлением лития в гелиевый плазменный разряд показали возможность создания стационарного источника, востребованного технологией ЭУФ-литографии, которая применяется в микроэлектронике для уменьшения характерных размеров элементов схем, в результате чего увеличивается их быстродействие и уменьшается размер изделия», — рассказали в вузе.
Новости России
Москва Стендап-терапия: Елизавета Варвара Аранова о премьере сольного концерта и Большом туре 2025
Moscow.media Частные объявления сегодня
Подмосковные росгвардейцы получили более 100 новых служебных автомобилей
Подмосковные росгвардейцы получили более 100 новых служебных автомобилей
Токсиколог Кутушов перечислил топ-5 наиболее токсичных веществ в бытовой химии
В Подмосковье сотрудники Росгвардии задержали гражданку, находившуюся в федеральном розыске
Дышите глубже: доктор Кутушов рассказал, как "безопасные" альтернативы сигарет отравляют ваш организм
Токсиколог Кутушов перечислил топ-5 наиболее токсичных веществ в бытовой химии
BIA Technologies вошла в ТОП-20 быстрорастущих технологических компаний России
«Это больно и для меня»: бросивший жену Тимур Родригез заявил, что тяжело переживает развод
Bigg Boss 18: Digvijay Rathee asks Chum Darang about the kind of guy she would like to marry; says ‘mere parents ko manana padega’
What to know before Stanford visits SJSU for Bill Walsh Legacy Game
The Evolution of Graphic Design: What Today’s Designers Offer
Bigg Boss 18: Netizens slam Raftaar and Ikka’s for calling Digvijay Singh Rathee ‘napti’; see tweets
Михаил Мальцев: "Низкий туррейтинг Свердловской области – из-за нехватки мест размещения"
«Деловые Линии» открыли терминал в городе Бор в Нижегородской области
Дайджест новостей «Грузовичкоф» за ноябрь
30 ноября личный состав режимно-секретных подразделений Росгвардии Башкортостана отмечают профессиональный праздник
Woolly Boy and the Circus можно предзаказать на iOS, Android и PC
Arcane co-creator reminds fans 'there are always constraints', dispels theories the show was rushed or restrained by Riot's higher-ups
Доступна предзагрузка Steam-версии Delta Force: Hawk Ops
The best-selling graphics card deals on Amazon right now, and which we recommend
Секретар Миколаївської міськради у робочий час у нетверезому стані рекламував свій бізнес
Удобное бронирование жилья в Дивноморском и Геленджике с помощью ТутОтель
Thyseed — новый игрок на рынке товаров для мам и детей в «Детском мире»
«Деловые Линии» открыли терминал в городе Бор в Нижегородской области
Только 6% женщин ориентируются на рекомендации врача при выборе косметики
"Школа 21" для подготовки ИТ-специалистов открылась в Нижнем Новгороде
Лучшие студенческие энергетические отряды «Россети Центр» и «Россети Центр и Приволжье» награждены в Москве
Секреты мотивации: как превратить рутину в увлекательный процесс
На Казанском вокзале в Москве презентовали вагон-купе для инвалидов
101 повод для веселья в Angsana Velavaru
Россия и Венгрия решили три из четырех проблем из-за санкций США против Газпромбанка
Продажу зданий в центре Ярославля оценили, как Рижский вокзал в Москве
«Бывший член семьи»: сможет ли Петросян выписать взрослую дочь из квартиры
Хачанов намерен вернуться в топ-10 рейтинга ATP в следующем году
WTA сделала заявление об отстранении второй ракетки мира
Бублик проиграл на турнире в Санкт-Петербурге
Жену второй ракетки Белоруссии Герасимова обокрали в отеле Петербурга
KEY CAPITAL: Эволюция жилья
«Бывший член семьи»: сможет ли Петросян выписать взрослую дочь из квартиры
В столице создают мобильное приложение для краткосрочной аренды мест на московских парковках
Истринский волонтер стала одним из победителей конкурса «Волонтер года-2024»
Музыкальные новости
Выбежала со сцены в толпу: Диана Арбенина удивила своим поведением на концерте в Екатеринбурге
Хлебникова с новым лицом, Сенчукова после операции, недовольная Долина: звезды на фестивале «Легенды Ретро FM 2024»
В Мичуринском драмтеатре впервые пройдет концерт трех лауреатов конкурса Чайковского и оркестра Рахманинова
10 самых ярких моментов из семейной жизни великого и ужасного Оззи Осборна
«Деловые Линии» открыли терминал в городе Бор в Нижегородской области
Подмосковные росгвардейцы получили более 100 новых служебных автомобилей
Только 6% женщин ориентируются на рекомендации врача при выборе косметики
Стендап-терапия: Елизавета Варвара Аранова о премьере сольного концерта и Большом туре 2025
Режиссера Андрея Перевалова избили в центре Петербурга
Компания «Газпром газораспределение Иваново» напомнила потребителям правила пользования газом
Жители Республики Татарстан потратили на ювелирные изделия более 6,2 млрд рублей за 9 месяцев 2024 года
«Деловые Линии» открыли терминал в городе Бор в Нижегородской области
Автоперевозки. Подходящее резюме водителя – позвоните прямо сейчас!
«Автомобилист» отыграл три шайбы, но уступил «Спартаку» по буллитам
Сегодня в Новгородской области отмечают День неизвестного солдата
Песков заявил, что Путин не передавал посланий Зеленскому через Шольца
Стратегическое партнерство РФ и Казахстана – вызов неоколониализму Запада
В Москве показали любимую дагестанскую мебель Путина
Всемирные игры дружбы в Москве и Екатеринбурге отложили до особого решения
Повлиять на лечение рака может открытие российских ученых
Только 6% женщин ориентируются на рекомендации врача при выборе косметики
Только 6% женщин ориентируются на рекомендации врача при выборе косметики
Стендап-терапия: Елизавета Варвара Аранова о премьере сольного концерта и Большом туре 2025
На Казанском вокзале в Москве презентовали вагон-купе для инвалидов
Bild: Шольц хочет узнать у Зеленского, на что тот готов ради мира
Иван Мезюхо: До Зеленского «вдруг» дошло, что ВСУ не способны сражаться с Россией за утраченные Киевом территории
Канцлер ФРГ назвал цели визита в Киев
В Кремле заявили, что Путин не передавал через Шольца послания Зеленскому
Росгвардейцы обеспечили безопасность на спортивных мероприятиях в Москве
Дмитровские спортсмены стали призерами всероссийских соревнований
Школьники из Подольска победили на чемпионате России по лазертагу
Четыре «золота» взяли российские школьники на олимпиаде по математике в КНР
Собянин рассказал, какие социальные объекты строят в ЗАО по программе реновации
Сергей Собянин. Главное за день
На 40 минут быстрее. Сергей Собянин открыл Бескудниковский путепровод
Сергей Собянин: Московский туризм продолжает бить рекорды
Лекция про пернатых пройдет 6 декабря в ЦАО
Четыре новых проезда появится на западе Москвы
В Москве на этой неделе похолодает до минус 8 градусов
Дышите глубже: курс экопрогулок стартует в Москве
Истринский волонтер стала одним из победителей конкурса «Волонтер года-2024»
Продажу зданий в центре Ярославля оценили, как Рижский вокзал в Москве
Россия и Венгрия решили три из четырех проблем из-за санкций США против Газпромбанка
Американские мосты в Петербурге могут переименовать в Николаевские
Синоптик рассказала об эпицентрах тепла на северо-западе и востоке России
Какой будет погода на Новый год, спрогнозировали синоптики
Декабрь спрогнозировали россиянам синоптики
В Архангельске представили выставку «Мечта о Севере. Снегурочка»
Беседа-рекомендация «Это важно знать»
Беседа-рекомендация «Это важно знать»
Час мужества "Их подвиг жив, неповторим и вечен"
Выставка-память «Пропавшие без вести, но не забытые», ко Дню Неизвестного солдата
Брянские педагоги стали лауреатам всероссийского конкурса
В Кремле анонсировали телефонный разговор Путина с зарубежным лидером
101 повод для веселья в Angsana Velavaru
«Улетел в Москву»: Вяльбе сообщила о проблемах со здоровьем у Большунова
