EUV-Lithografie: Entwickler von Zeiss, Trumpf und Fraunhofer erhalten Deutschen Zukunftspreis
Ein Team aus Baden-Württemberg und Thüringen hat dieses Jahr die mit 250.000 Euro dotierte Auszeichnung erhalten. Die Gewinner hätten einen wesentlichen Beitrag zur Entwicklung der sogenannten EUV-Lithografie geleistet.